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산단계획안에 따르면 용인 처인구 이동읍과 남사읍 일원에 조성되는 용인 첨단시스템반도체 클러스터는 728만863㎡ 상당 면적으로 조성되며 그 중 산업시설용지는 전체 토지 중 57.8%(420만2165㎡)에 조성된다. 반도체 단지는 전체 47.8%(348만2033㎡)를 차지하게 된다. 나머지 부지는 가스공급 설비와 발전단지, 변전소, 저류지 등으로 조성된다.

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